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固体有机金属化合物用填充容器和其填充方法
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Filling container for solid organic metal compound use and its filling method

申请号:03102112.3 申请日:2003-02-08
摘要:提供一种可以长时间以一定浓度稳定地向MOCVD装置等气相外延生长用装置供应固体有机金属化合物的新型填充容器。这种固体有机金属化合物用填充容器具有载气导入口(2)和载气排出口(3),其特征在于该容器具有以下结构:填充容器内部被分为多个纵向空间,利用载气流通方向反转装置(6),使从载气导入口(2)导入的载气作为向下的气流流通过各纵向空间,并从载气排出口(3)排出。
Abstract:
申请人: 东曹精细化工株式会社
Applicant: TOSO FINE CHEMICAL CO LTD[JP]
地址: 日本山口县
发明(设计)人: 富安静夫 德留功一 羽贺健一
Inventor: SHIZUO TOMIYASU[JP]; KOICHI TOKUTOMI[JP]; KENICHI HAGA[JP]
主分类号: H01L21/205
分类号: H01L21/205 H01L21/285 C23C16/18
  • 法律状态
2006-08-09  授权
2005-03-09  
2003-08-20  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1.一种固体有机金属化合物用填充容器,具有载气导入口和载气 排出口,其特征在于具有以下结构:填充容器内部被分为多个纵向空间, 利用载气流通方向反转装置,使从载气导入口导入的载气作为向下的气 流流通过各纵向空间,并从载气排出口排出。
公开号  1437219A
公开日  2003-08-20
专利代理机构  北京市金杜律师事务所
代理人  韩登营
颁证日  
优先权  2002.2.8 JP 032750/2002
 
国别 优先权号 优先权日 类型
JP  032750/2002  20020208 
国际申请  
国际公布  
进入国家日期  
  • 专利对比文献
类型 阶段 文献号 公开日期 涉及权利要求项 相关页数
注:不保证该信息的有效性、完整性、准确性,以上信息也不具有任何效力,仅供参考。使用前请另行委托专业机构进一步查核,使用该信息的一切后果由用户自行负责。
X:单独影响权利要求的新颖性或创造性的文件;
Y:与检索报告中其他 Y类文件组合后影响权利要求的创造性的文件;
A:背景技术文件,即反映权利要求的部分技术特征或者有关的现有技术的文件;
R:任何单位或个人在申请日向专利局提交的、属于同样的发明创造的专利或专利申请文件;
P:中间文件,其公开日在申请的申请日与所要求的优先权日之间的文件,或会导致需核实该申请优先权的文件;
E:单独影响权利要求新颖性的抵触申请文件。
  • 期刊对比文献
类型 阶段 期刊文摘名称 作者 标题 涉及权利要求项 相关页数
  • 书籍对比文献
类型 阶段 书名 作者 标题 涉及权利要求项 相关页数