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晶圆辨识标号的制作方法
无权-视为撤回

申请号:02106277.3 申请日:2002-04-08
摘要:本发明系为一种晶圆辨识标号的制作方法,至少包括:提供一晶圆,具有一正面、一背面以及一侧面;以及形成一辨识标号于上述晶圆的侧面。藉由形成一辨识标号于上述晶圆的侧面方法,可以避免传统上将晶圆辨识标号形成于晶圆的正面或背面所造成的问题。
申请人: 矽统科技股份有限公司
地址: 台湾省新竹科学园区
发明(设计)人: 李世达 徐震球
主分类号: H01L21/00
分类号: H01L21/00 H01L23/544
  • 法律状态
2005-04-06  
2003-12-31  
2003-10-22  公开
2002-07-24  
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1.一种晶圆辨识标号的制作方法,至少包括: 提供一晶圆,具有一正面、一背面以及一侧面;以及形成一辨识标号于上 述晶圆的侧面。
公开号  1450592
公开日  2003-10-22
专利代理机构  北京三友知识产权代理有限公司
代理人  黄志华
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
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