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用于非直接加热阴极式离子源的阴极分装置
无权-未缴年费

申请号:01809075.3 申请日:2001-04-25
摘要:非直接加热阴极式离子源的阴极被至少一个杆或钉支撑。阴极优选为盘状,支撑杆的直径小于阴极盘的直径以减少热传导和热辐射。在一个实施例中,阴极被单个杆在盘中心或中心附近支撑。为简单和稳定地夹紧和分离,支撑杆被一个弹簧夹夹持。阴极盘和支撑杆可制造成一块。一发射热电子化电子的丝极在靠近阴极处安装在支撑杆周围。
申请人: 瓦里安半导体设备联合公司
地址: 美国马萨诸塞州
发明(设计)人: 约瑟夫·C·奥利桑 利奥·克劳斯 安东尼·丽奥 尼古拉斯·A·维尤托
主分类号: H01J27/02
分类号: H01J27/02
  • 法律状态
2007-06-27  
2005-12-07  授权
2003-12-31  
2003-10-22  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1.一种用于离子源的阴极分装置,其包括: 非直接加热阴极;和 用于支撑阴极在离子源弧光腔室内的固定安装到非直接 加热阴极的支撑杆。
公开号  1451169
公开日  2003-10-22
专利代理机构  永新专利商标代理有限公司
代理人  过晓东
颁证日  
优先权  2000.5.17 US 60/204,936;2000.5.17 US 60/204,938;2001.4.4 US 09/726,284
国际申请  PCT/US01/13236 2001.4.25
国际公布  WO01/88946 英 2001.11.22
进入国家日期  2002.11.05