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C 化学;冶金
C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
16/00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
16/44 .以镀覆方法为特征的
16/442 ..采用流化床法
16/448 ..产生反应气流的方法,例如通过母体材料的蒸发或升华
16/453 ..通过燃烧器或喷灯的反应气体法,例如在大气压下的CVD法
16/455 ..向反应室输入气体或在反应室中改性气流的方法
16/458 ..在反应室中支承基体的方法
16/46 ..以加热基体的方法为特征的
16/48 ..辐射法,例如光分解、辐射分解、粒子辐射
16/50 ..借助放电的
16/52 ..镀覆工艺的控制或调整
16/54 ..连续镀覆的专用设备