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分类
分类号 含义
B 作业;运输
B81 微观结构技术
B81B 微观结构的装置或系统,例如微观机械装置
7/00 微观结构系统
7/02 . 包括功能上有特定关系的不同的电或光学装置,例如微—电子—机械系统
7/04 . 类似的微观结构装置的网络或排列