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分类
分类号 含义
H 电学
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
21/70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
21/77 ..在公共衬底中或上面形成的由许多固态元件或集成电路组成的器件的制造或处理
21/78 ...把衬底连续地分成多个独立的器件
21/82 ....制造器件，例如每一个由许多元件组成的集成电路
21/822 .....衬底是采用硅工艺的半导体的
21/8232 ......场效应工艺
21/8234 .......MIS工艺