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分类
分类号 含义
H 电学
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
21/70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
21/71 ..限定在组H01L 21/70中的器件的特殊部件的制造
21/74 ...杂质高度集中的埋层的制作,例如集电极埋层、内部连接线