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分类
分类号 含义
H 电学
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
21/02 .半导体器件或其部件的制造或处理
21/04 ..至少具有一个跃变势垒或表面势垒的器件,例如PN结、耗尽层、载体集结层
21/50 ...应用H01L 21/06至H01L 21/326中的任一小组都不包含的方法或设备组装半导体器件的
21/56 ....封装,例如密封层、涂层