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分类号 含义
H 电学
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
21/02 .半导体器件或其部件的制造或处理
21/04 ..至少具有一个跃变势垒或表面势垒的器件,例如PN结、耗尽层、载体集结层
21/18 ...器件有由周期表第Ⅳ族元素或含有/不含有杂质的AⅢBⅤ族化合物构成的半导体,如掺杂材料
21/30 ....用H01L 21/20至H01L 21/26各组不包含的方法或设备处理半导体材料的
21/302 .....改变半导体材料的表面物理特性或形状的,例如腐蚀、抛光、切割
21/304 ......机械处理,例如研磨、抛光、切割