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[发明] 滤波鉴相式动态干涉测量系统 - 200910191609.0
无权-未缴年费

申请人:重庆师范大学 - 申请日:2009-11-26 - 主分类号:G01B9/02(2006.01)I
分类号:G01B9/02(2006.01)I G01B9/023(2006.01)I G01B11/24(2006.01)I
摘要:本发明涉及一种滤波鉴相式动态干涉测量系统,其由干涉光学系统、光电探测器与滤波鉴相系统构成,对被检测物体进行光学干涉测量。其干涉光学系统包括光路及移相装置;滤波鉴相系统包括同步移相控制电路与信号处理电路。本发明提供的测量系统可在恶劣环境下进行在线测量,只需一幅干涉图就能得出测量结果,不降低CCD的分辨率,对测量环境没有特别要求,具有抗干扰能力强、测量精度高、性噪比高、分辨率高、测量时间短等特点。
同族[1]:CN101706253B  >>更多 - 什么是同族
被引用[3]:CN102664679A - CN103383347A - CN106767489A   
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[发明] 利用侧面安装的干涉仪获取位置信息的系统和方法 - 200410011523.2
无权-未缴年费

申请人:安捷伦科技有限公司 - 申请日:2004-12-31 - 主分类号:G01B9/025
分类号:G01B9/025 G01B9/02 G03H1/04
摘要:本发明公开了用于获取可移动装置相对于特定轴的位置信息的系统和方法。在一个实施例中,干涉仪产生第一光束和第二光束,并且放置各种光束指引部件以定义这两条光束的光束路径片断,但是光束路径片断的长度并没有随可移动装置沿特定轴的位移而一致性地变化。在另一实施例或同一实施例中,第一光束的或射到可移动装置或已从可移动装置反射回的每个光束路径片断对称于第二光束的相应光束路径片断。可移动装置可以是晶片台,其中“特定轴”是投影透镜的曝光轴,但是所有与台协同工作的光学部件都位于晶片台在垂直于光刻曝光轴的方向上的范围之外。
同族[15]:US2005185193A1 - US2006087659A1 - US7130056B2 - US7362447B2 - DE102004059400A1 - DE102006042007A1 ...  >>更多 - 什么是同族
引用[15]:US4891526A - US5717482A - US6020964A - US6208407B1 - US6650419B2 - US6674510B1 ...   
被引用[43]:US2007008548A1 - US2007041022A1 - US2009310105A1 - US2019277760A1 - US7355719B2 - US8693006B2 ...   
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[发明授权] 滤波鉴相式动态干涉测量系统 - 200910191609.0;101706253B
无权-未缴年费

申请人:重庆师范大学 - 申请日:2009-11-26 - 主分类号:G01B9/02(2006.01)I
分类号:G01B9/02(2006.01)I G01B9/023(2006.01)I G01B11/24(2006.01)I
摘要:本发明涉及一种滤波鉴相式动态干涉测量系统,其由干涉光学系统、光电探测器与滤波鉴相系统构成,对被检测物体进行光学干涉测量。其干涉光学系统包括光路及移相装置;滤波鉴相系统包括同步移相控制电路与信号处理电路。本发明提供的测量系统可在恶劣环境下进行在线测量,只需一幅干涉图就能得出测量结果,不降低CCD的分辨率,对测量环境没有特别要求,具有抗干扰能力强、测量精度高、性噪比高、分辨率高、测量时间短等特点。
同族[1]:CN101706253A  >>更多 - 什么是同族
被引用[3]:CN102664679A - CN103383347A - CN106767489A   
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[发明] 基于二维相位光栅和点衍射的三视场数字全息检测装置与方法 - 201710589240.3
有权

申请人:哈尔滨工程大学 - 申请日:2017-07-19 - 主分类号:G01B9/027(2006.01)I
分类号:G01B9/027(2006.01)I G01B9/02(2006.01)I
摘要:本发明提供一种基于二维相位光栅和点衍射的三视场数字全息检测装置与方法。包括:出射波长为λ的光源(1)、偏振片Ⅰ(2)、准直扩束装置(3)、测量窗口(4)、待测物体(5)、第一透镜(6)、二维相位光栅(7)、孔阵列(8)、偏振片Ⅱ(9)、偏振片Ⅲ(10)、偏振片Ⅳ(11)、第二透镜(12)、光阑(13)、图像传感器(14)和计算机(15)。通过二维相位光栅分光和引入载波实现了视场平移和频域分离,通过偏振片组避免三束物光的干涉实现频谱间的串扰的减小。本发明简单易行,调整方便,图像传感器视场利用率提高;全息图载波频率映射关系简单,可通过光栅离焦精确控制,系统载波频率确定复杂度低,相位恢复算法效率高。
同族[1]:CN107421437B  >>更多 - 什么是同族
引用[7]:US2010091292A1 - US9360423B2 - WO2013040345A1 - CN102147233A - CN102954842A - CN104165582A ...   
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[实用新型] 一种紧凑型的数字全息显微系统 - 201820068675.3
有权

申请人:许之敏 - 申请日:2018-01-16 - 主分类号:G01B11/24(2006.01)I
分类号:G01B11/24(2006.01)I G01B9/04(2006.01)I G01B9/023(2006.01)I G01B9/027(2006.01)I
公开(公告)号:207798024U
摘要:本实用新型公开了一种紧凑型的数字全息显微系统,本实用新型所采用的技术方案是包括棱镜延时反射式数字全息显微镜光路和棱镜延时透射式数字全息显微镜光路;棱镜延时反射式数字全息显微镜光路中,光源发出的线偏振光经第一二分之一波片和偏振分光棱镜后分为两束偏振态垂直的光波,其中一束经过二分之一波片和透镜后入射相机、另一束经过透镜和样品表面反射后入射相机,相干涉后产生含有样品表面信息的干涉条纹经相机数字转化后,传输入计算机,进行数字重建。本实用新型的有益效果是系统更容易调整和达到较高精度。
被引用[1]:CN109443234A   
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[发明授权] 基于一维周期光栅和点衍射的双视场数字全息检测方法 - 201710589261.5;107462150B
有权

申请人:哈尔滨工程大学 - 申请日:2017-07-19 - 主分类号:G01B9/02(2006.01)I
分类号:G01B9/02(2006.01)I G01B9/021(2006.01)I
摘要:本发明提供一种基于一维周期光栅和点衍射的双视场数字全息装置与方法,属于数字全息检测领域。装置包括波长为λ的光源、线偏振片Ⅰ、准直扩束装置、矩形测量窗口、待测物体、第一透镜、一维周期光栅、孔阵列、线偏振片Ⅱ、线偏振片Ⅲ、第二透镜、光阑、图像传感器和计算机。本技术通过一维周期光栅的分光和引入载波的作用实现了视场的平移和频域的分离,并且通过偏振片组避免两束物光的干涉,实现了频谱间串扰的减小。本发明简单易行,调整方便,图像传感器的视场利用率高;全息图载波频率映射关系简单,确定容易,并可通过光栅离焦量精确控制,系统载波频率的复杂度低,相位恢复算法效率高。
同族[1]:CN107462150A  >>更多 - 什么是同族
引用[5]:US2013003073A1 - WO2016115321A2 - CN102954842A - CN105423911A - CN106441085A   
被引用[1]:CN109343321A   
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[发明] 全息干涉度量的方法及系统 - 201880045899.5
审中-实审

申请人:RD辛纳基有限公司 - 申请日:2018-06-06 - 主分类号:G01B5/02(20060101)
分类号:G01B5/02(20060101) G01B9/02(20060101) G01B9/021(20060101) G01B11/16(20060101) G01M11/02(20060101) G03H1/04(20060101)
公开(公告)日:2020-03-24
摘要:一种全息干涉度量仪,包括:至少一个成像装置,捕获一干涉图案,所述干涉图案由至少两个光束创建;以及至少一个光圈,位于所述至少两个光束中的至少一个光束的一光学路径中;其中所述至少一个光圈位于远离所述至少一个光束的一轴线,因而透射所述至少一个光束在一角度范围被收集的一子集。
同族[6]:US2018348703A1 - US2020141715A1 - WO2018225068A1 - EP3635328A1 - KR20200015938A - IL271219D0  >>更多 - 什么是同族
引用[5]:US2006109482A1 - US2011255097A1 - US2015253197A1 - US4478481A - US7471430B1   
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[发明授权] 一种数字全息与微分干涉联合的双通道相移相位测量显微镜 - 201711437162.1;108303020B
有权

申请人:华南师范大学 - 申请日:2017-12-26 - 主分类号:G01B9/04(20060101)
分类号:G01B9/04(20060101) G01B9/02(20060101) G01B9/027(20060101)
公开(公告)号:108303020B
公开(公告)日:2020-04-03
摘要:一种数字全息与微分干涉联合的双通道相移相位测量显微镜,包括:用于生成测量光束的光束调整及耦合单元;用于接收测量光束以形成相应成像光束和第一调整剪切相移正交偏振光的相移微分干涉显微镜单元;用于接收测量光束,并形成相应成像光束的相移数字全息显微镜单元;用于接收第一调整剪切相移正交偏振光,并输出相应成像光束的普通显微镜成像组件;用于控制形成成像光束,并对成像光束进行相位计算和分析以获取相位计算和分析的结果的控制分析单元。可见,实施本发明实施例可以提高对微小透明样品实时三维动态相位测量的准确度,为细胞、微流场和微器件研究及相关的工程应用提供一种新的定量测量手段。
同族[1]:CN108303020A  >>更多 - 什么是同族
引用[5]:US2018266806A1 - CN101270975A - CN102207613A - CN103328921A - CN103411690A   
被引用[5]:CN108592790A - CN109539975A - CN109974576A - CN110260781A - CN110260782A   
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[发明] 一种数字全息与微分干涉联合的双通道相移相位测量显微镜 - 201711437162.1
有权

申请人:华南师范大学 - 申请日:2017-12-26 - 主分类号:G01B9/04(2006.01)I
分类号:G01B9/04(2006.01)I G01B9/02(2006.01)I G01B9/027(2006.01)I
公开(公告)号:108303020A
摘要:一种数字全息与微分干涉联合的双通道相移相位测量显微镜,包括:用于生成测量光束的光束调整及耦合单元;用于接收测量光束以形成相应成像光束和第一调整剪切相移正交偏振光的相移微分干涉显微镜单元;用于接收测量光束,并形成相应成像光束的相移数字全息显微镜单元;用于接收第一调整剪切相移正交偏振光,并输出相应成像光束的普通显微镜成像组件;用于控制形成成像光束,并对成像光束进行相位计算和分析以获取相位计算和分析的结果的控制分析单元。可见,实施本发明实施例可以提高对微小透明样品实时三维动态相位测量的准确度,为细胞、微流场和微器件研究及相关的工程应用提供一种新的定量测量手段。
同族[1]:CN108303020B  >>更多 - 什么是同族
引用[5]:US2018266806A1 - CN101270975A - CN102207613A - CN103328921A - CN103411690A   
被引用[5]:CN108592790A - CN109539975A - CN109974576A - CN110260781A - CN110260782A   
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[发明授权] 多方向投影式莫尔干涉仪以及使用该干涉仪的检查方法 - 200710188221.6;101303223B
有权
著录变更

申请人:株式会社高永科技 - 申请日:2007-11-13 - 主分类号:G01B9/02(2006.01)I
分类号:G01B9/02(2006.01)I G01B9/023(2006.01)I G02B26/08(2006.01)I G02B7/00(2006.01)I G02B5/20(2006.01)I
摘要:本发明涉及能够从多方向向检查对象物投射图形照明的多方向投影式莫尔干涉仪以及利用它的检查方法。本发明中,多方向投影式莫尔干涉仪包括:使检查对象物在X、Y方向移动的X-Y工作台(10)、对检查对象物(1)反射的图形影像进行拍摄的成像部(110)、接受图形照明投射使光路改变并投射的第1旋转镜部(120)、接受图形照明投射使光路改变并投射的第2旋转镜部(130)、将第1旋转镜部(120)投射的图形照明向检查对象物投射的多个第1固定镜部(140,150)、将第2旋转镜部(130)投射的图形照明向检查对象物投射的多个第2固定镜部(160,170)、以及产生图形照明的第1图形照明产生部(180)。
同族[11]:US2008278729A1 - US7894077B2 - EP1990604A1 - EP1990604B1 - JP2008281543A - JP5462999B2 ...  >>更多 - 什么是同族
引用[17]:US2004105100A1 - US2008180693A1 - US4432239A - US4850693A - US5898486A - US5971042A ...   
被引用[40]:US2011001818A1 - US2011254949A1 - US2012307260A1 - US2013294679A1 - US8369603B2 - US8724883B2 ...   
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