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分类号为 H03H3/007* 的最新专利
2008年07月 公开
200810008552 机电共振器及其制造方法
2008年05月 公开
200680017224 生产震动微机械结构的方法
2008年02月 公开
200710121563 一种平面电容谐振器及其制备方法
2007年12月 公开
200710110041 滤波器结构及其制造方法
200710110042 半导体滤波器结构和制造方法
2007年10月 公开
200710096509.0 电子器械元件及其制造方法、以及共振器及其制造方法
2007年05月 公开
200580018234.8 Μ型振板型纳米级/微米级机械装置及其制造方法
2007年03月 公开
200580010349.2 电子机械装置和其生产方法