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2008年11月 2008年10月 2008年09月 2008年08月 2008年07月
2008年11月 公开
200810095278 光清洗装置
200810096751 液体材料供给装置、气泡排出装置及液体材料供给方法
200710074332 布料套色烫印方法
200810081834 颜料颗粒凝集体、分散物的制法、树脂组合物、及滤色器
200810122533 基于亚波长光栅玻璃体内偏振无关分束器及其制备方法
200810091378 防护薄膜组件收纳容器
200810097075 设计掩模的方法
200710074402 一种带间隔物的彩色滤光片、液晶显示器及其制作方法
200710097320 薄膜图案层制造方法及紫外光源装置
200810018360 全禁带三维光子晶体压印成型方法及全禁带三维光子晶体结构
200810039408 一种双重图形曝光工艺
200810109247 酚聚合物以及包含该酚聚合物的光刻胶
200810081856 光固化性树脂组合物、干膜、固化物以及印刷电路板
200810081857 光固化性树脂组合物及其固化物、干膜、印刷电路板
200810092881 狭缝式涂布机的高粘度涂布液涂布装置及其涂布方法
200810095240 狭缝式涂布机用预备排出装置
200810003849 晶片卡盘和形成晶片卡盘的方法
200810038759 可切换工位的六自由度精密定位台
200810039465 用于光刻设备的对准系统、对准方法及增强型对准标记
200810040234 一种用于光刻设备对准系统的对准标记结构
200810096275 光刻设备和传感器校准方法
200810096908 移除晶圆后侧聚合物和移除晶圆前侧光刻胶的工艺
200810099206 曝光装置
200810091639 基板处理装置
200810000750 光刻工艺的进行方法及半导体制造的方法
200710040514 衍射微透镜列阵与紫外焦平面列阵单片集成技术
200810097071 掩模布局方法、半导体器件及其制造方法
200810097074 掩模的布局方法、半导体器件及其制造方法
200810050860 一种有机发光显示器件阴极隔离柱的加工方法
200680041729 振动隔离系统及方法
200680042262 面位置检测装置、曝光装置以及元件制造方法
200680041429 光掩模及用来在光掩模上形成非正交特征的方法
200680041991 采用独立掩模误差模型的掩模验证系统和方法
200680041865 用于厚的光致抗蚀剂层的可显影底涂组合物
200680042251 制作平版印刷印版的方法
200680041540 用于基于多种形式的设计数据的图案生成的方法和系统
200680042293 制作平版印刷印版的方法
200710185129 掩模的布图方法
200810092210 全息图记录介质用基板及全息图记录介质
200810093491 化学增强型抗蚀剂组合物的制备方法
200810038123 一种用于光刻设备对准系统的对准标记及其使用方法
200810094978 清洗装置、光刻设备和光刻设备清洗方法
200810094981 光刻设备和方法
200680040434 倍半硅氧烷-二氧化钛杂化聚合物
200680041245 用于193NM沉浸平版印刷的水可浇铸-水可剥离的面涂层
200680040412 含有包括环丁二醇的聚酯和均质聚酰胺共混物的透明、多层制品的制备
200680041182 图案曝光方法和图案曝光设备
200680041062 用于去除光刻胶的稀释剂组合物
200680041291 图案形成方法及图案形成装置、以及元件制造方法
2008年10月 公开
200810094885 涂布方法以及图案形成方法
200710102498 适用于喷墨头芯片的细窄供墨槽制造方法
200810095710 基板处理装置
200710022107 一种掩膜板
200710040245 光学近距修正的方法
200710040257 光罩的检测方法
200710098279 一种在绝缘衬底上制备纳米结构的方法
200710308356 用于制备薄膜图案的装置和方法以及用其制备液晶显示器件的方法
200810095475 透光性压模、其制造方法和多层光记录介质的制造方法
200810095937 着色光聚合组合物、使用该组合物的滤色器及其制备方法
200810127707 光刻胶组合物和使用其制造薄膜晶体管基底的方法
200810095943 感光性树脂组合物
200810095702 全息记录材料及其制造方法以及全息记录媒体
200710199060 利用换气装置降低光掩膜雾化的曝光装置及方法
200810005560 感光性SAM膜的曝光方法及半导体器件的制造方法
200810095335 曝光绘图装置
200810085799 印刷电路板的制造方法以及印刷电路板
200810011906 光刻胶残留物清洗剂
200810011907 光刻胶剥离液
200810095009 用水蒸汽和稀释气体增强的氢灰化
200710165598 为掩模设计执行数据准备的系统、方法和计算机可读媒体
200810024295 X射线全息衍射光栅分束器
200710040248 测试基体、测试基体掩膜及测试基体的形成方法
200710040262 测试基体、测试基体掩膜及测试基体的形成方法
200680040159 抗反射涂层
200680040143 硅氧烷树脂组合物及其制造方法
200680040034 喷墨滤色片用带隔板的基板及其制造方法、具备该喷墨滤色片用带隔板的基板的滤色片及其制造方法,以及具备该滤色片的液晶显示装置
200680039603 感光性树脂组合物、使用其的感光性元件、抗蚀剂图案的形成方法及印刷电路板的制造方法
200680028253 微光刻投影物镜
200680039487 光刻系统和投影方法
200720198751 一种高速增益自动可调的双频激光干涉信号接收器
200720178976 一种生产等版幅全息模压膜的模压装置
200720178978 激光全息图文模压装置
200810088457 防护薄膜组件收纳容器及其制造方法
200810050784 双膜交替腐蚀制作多级微反射镜的方法
200810050786 一种硅湿法腐蚀制作多级微反射镜的方法
200810050789 控制生长多层膜制作多级微反射镜的方法
200810123710 一种亚波长光栅结构偏振片及其制作方法
200810104013 一种微型多功能光学器件及其制备方法
200810108713 接触窗
200710307380 液晶显示板及其制造方法
200810111874 TFT-LCD阵列基板及其制造方法
200710039783 一种掩模版的制造方法
200710090228 一种立体图像印刷的挂网方法
200810091204 全息图记录介质用基板以及全息图记录介质
200810093732 感光性树脂组合物和层压体
200810108315 绿色光阻及使用该绿色光阻的彩色滤光基板
200810112893 感光树脂组合物及其制备方法
200710039781 光罩维护的方法
200710039786 用于改善特征线宽均匀性的方法
200810037649 六自由度微动台
200810037650 平衡减震台
200810037800 一种基于五杆机构的平衡质量运动装置及其控制方法
200810092261 角度分解散射仪和检验方法
200710090196 显影液组成物
200810109206 控制特征尺寸收缩的蚀刻工艺
200710039663 一种清洗等离子刻蚀残留物的清洗液
200710039566 测试基体、测试基体掩膜及测试基体的形成方法
200680039084 金属微粒分散物的制造方法、金属微粒分散物以及使用该分散物的着色组合物、感光性转印材料、带遮光图像的基板、滤色片及液晶显示装置
200680039227 聚合物和组合物
200680039034 含微粒组合物、显示装置用着色膜形成用油墨、显示装置用遮光膜、遮光材料、带有遮光膜的基板、滤色片、液晶显示元件及液晶显示装置
200680038978 压印装置、压印方法和压印模具
200680007020 感光性树脂组合物以及滤色器
200680038623 具有减小的线条边缘粗糙度的蚀刻特征
200680038204 用于图像处理的改进的存储器结构
200720044397 用于投影镜头转换的晶片对准的对准标记机构
200810047875 一种通过微流控芯片制备图案化纤维素的方法
200710039506 使用光纤对光敏材料进行图案化的无掩模方法与结构
200810089957 用于液晶显示器的滤色基底和制造该滤色基底的方法
200810087082 液晶显示装置用基板的制造方法
200710039477 聚焦评估的方法
200710096518 产生用于生成网屏掩膜的基本样板的方法
200710090113 滚筒模具结构及其制造方法
200710065293 一种用于光刻技术的无机热阻膜
200710065294 带有氧化物掩模的局域微缩光刻膜
200710090381 可辐射固化显影的聚胺酯以及含其的辐射可固化显影的光阻组成物
200810090895 掩膜坯料的制造方法及光掩膜的制造方法
200710039424 掩膜布局的测量方法
200710166401 光掩膜及其制造方法
200810036651 用于光刻设备的对准系统及其对准方法和光刻设备
200810038391 光刻设备的探测装置、探测方法及制造方法
200810086963 投影曝光装置
200810100399 校准量测工具的衬底及其形成方法以及量测工具校准方法
200710039420 显影工艺改善方法
200710039422 改善临界尺寸均匀度的显影方法
200710039481 低蚀刻性光刻胶清洗剂
200710039482 厚膜光刻胶清洗剂
200680038403 制作平版印刷印版前体的方法
200680038003 IC插座装置
200680034135 用于光致抗蚀剂应用的低活化能溶解改性剂
200580027115 形成用于传感器应用的半渗透膜的可光聚合的聚硅氧烷材料
200680037968 在193纳米辐射波长具有低折射率的顶部抗反射涂料组合物
200680038034 转印生成物及其制造方法和配置位置确定方法
200720076162 一种工件台平衡定位装置
200720127314 为使光罩保持洁净的系统
200720127316 光掩模充气柜结构
200720127317 移载容器循环气流结构
200720127319 移载容器及应用于移载容器的承托结构
200710039201 衰减式相位移光罩的制造方法
200710142661 掩模的制造方法
200710145356 具有次解析度辅助特征的光掩模与其制造方法
200810083165 防护薄膜
200810087646 防护薄膜组件的制造方法及防护薄膜组件
200710091601 彩色滤光片、液晶显示面板、液晶显示装置及其制作方法
200810091611 物质图形、模具、金属薄膜图形、金属图形及其形成方法
200710039257 一种不易变色的感光性树脂组合物及其用途
200810090619 阻焊剂组合物及其固化物
200810090624 黑色阻焊剂组合物及其固化物
200810091113 光刻胶组合物及使用其形成光刻胶图案的方法
200710039256 一种低表面粘着性的感光性树脂组合物及其用途
200810090144 光敏性糊剂组合物及用其形成等离子体显示屏障壁的方法
200710194661 涂布机及使用该涂布机以涂布溶液涂布基板的方法
200810090269 自动清洗承载平台装置
200710039194 一种检验刻蚀液是否有效的方法
200710092047 去除液体中微气泡/微粒的方法、液体供应装置及其应用
200810090268 龙门式光罩清洁装置
200810095615 光刻装置及器件制造方法
200810111724 一种纳米光刻对准系统
200710039253 光刻胶的去除方法及光刻工艺的返工方法
200810090577 半导体制造装置以及半导体器件的制造方法
200680037095 活性能量线固化性组合物
200680037212 聚氨酯酰亚胺树脂、含该树脂的感光性树脂组合物及其固化物
200680028684 辐射敏感组合物和可成像材料
200680037014 数字曝光装置
200680037154 表面凹凸的制作方法
200680037549 浮雕图像印刷组件的动态UV曝光和热显影
200680037254 用于驱动半导体激光器的方法和设备、和用于驱动用于半导体激光器的驱动电流图案的方法和设备
200720195356 自动显定影机
200810086585 图案缺陷检查方法、光掩模制造方法以及图案转印方法
200810092048 获得透明导电薄膜的方法
200810090019 液晶显示面板、其制造方法和液晶显示装置
200810086584 灰阶掩模的缺陷修正方法和制造方法、灰阶掩模及图案转印方法
200710305183 对由图案分成的特征进行基于模式的OPC的方法和设备
200810049815 彩色图六色分色印刷方法
200810090940 用于形成掩模层图案的方法和系统
200710194370 感光性树脂组合物及感光性树脂转印薄膜
200810088579 有色光敏树脂组合物,使用其的彩色滤光器阵列和固态图像拾取装置
200810088598 有色光敏树脂组合物,使用其的彩色滤光器阵列和固态图像拾取装置
200810087500 着色图案形成用组合物、着色图案形成方法、滤色器及其制造方法、以及液晶显示元件
200810091385 基板处理装置
200710064864 一种制作百纳米级螺线管或网状结构的方法
200810034946 一种步进重复曝光装置
200810037396 一种测量晶圆表面平整度的方法及装置
200810074114 绘图装置
200810082393 曝光描图装置
200810085879 光刻设备和方法
200810086782 测量系统、光刻设备和测量方法
200810088523 曝光绘图装置
200810088524 曝光绘图装置
200810088573 抗蚀剂图案的形成方法和通过该方法制造的半导体装置
200810011210 聚合物光刻胶超声时效的装置和方法
200810037245 用于光刻机的调焦调平装置及测量方法
200810090247 涂敷显影装置及其方法以及存储介质
200810090960 涂敷显影装置及其方法以及存储介质
200710064853 采用一次电子束曝光制备晶体管T型纳米栅的方法
200680028955 辐射交联剂
200680036414 使用离散的辅助特征而改善的工艺范围
200680036814 正型感光性树脂组合物
200680036772 感光性树脂组合物、感光性元件及印刷电路板的制造方法
200680036927 感光性树脂组合物及使用其的感光性元件
200680035983 用于同时决定叠对准确度及图案放置误差的结构与方法
200680036076 具有保护性光学涂层的浸没光刻系统
200680036261 带金属配线的基板的制造方法
200680036332 基板处理方法、光掩膜的制造方法及光掩膜、以及元件制造方法
200680036526 多层膜反射镜及制法、光学系统、曝光装置及元件的制法
200680036884 半导体衬底及其制造方法
200680036913 垂直形貌修整
2008年09月 公开
200810024771 一次性全息图像压印膜热转移胶粘剂及其制备方法
200810096372 半导体蚀刻残渣清除剂和清洁剂组合物
200810003503 显示器制造方法
200710086859 曝光光罩及薄膜图案层的制造方法
200810009312 微影对焦以及/或能量的最佳化方法及其系统
200810082798 纳米压印设备及方法
200810086878 放射线敏感性树脂组合物、液晶显示元件用间隔体及其制造方法
200710087883 正型光阻剂
200810085472 化学放大型抗蚀剂组合物
200810086570 化学放大型抗蚀剂组合物
200810085492 微小结构和信息记录介质
200810018078 一种喇叭网的蚀刻法生产工艺
200710147980 更换光阻过滤器的系统与方法
200810096239 喷嘴清洁装置
200710086883 曝光机与曝光工艺
200710087774 用以制造平面显示器的曝光方法和光掩模
200710199929 形成电路图案的光刻方法
200810036910 归一化对准标记组合及其对准方法和对准系统
200810082402 台系统和包括这种台系统的光刻设备
200810100859 一种光刻机物镜点光源工作条件下杂光系数测试装置
200810100860 一种光刻机物镜掩膜照明条件下杂光系数测试装置
200710038450 芯片标识的制作方法及光罩
200810087507 光掩模以及利用该光掩模制造图像传感器的方法
200680035281 制备感光层压体的装置和方法
200680035333 敷贴料片的方法
200680035350 附有缓冲层的凹版制版辊及其制造方法
200680035418 光掩模和使用该光掩模的曝光方法
200680035622 正型感光性树脂组合物
200680032521 用于光刻设备的照射器
200680035475 改善光刻胶粘附性和重新使用一致性的氢处理方法
200720127313 光罩清洗设备
200720008960 一种紫外曝光机
200720054209 LCD曝光机球座浮动升降平衡装置
200710037986 防伪印章的制作方法
200810036505 基于2,2-双[4-(2,4-二氨基苯氧基)苯基]六氟丙烷的负性光敏聚酰亚胺的制备方法
200810009943 颜料分散组合物、光固化性组合物、滤色片及其制造方法
200810083361 液晶显示装置及其制造方法
200810091377 触控显示面板、彩色滤光基板及其制作方法
200810098031 液晶配向方法
200710087675 画素结构及其制造方法
200710088543 掩模图案以及其形成方法
200710143734 疏水性表面的掩模
200810083676 用于制作结构的方法
200710088634 放射线敏感性树脂组合物,液晶显示面板用间隔体及其形成方法,和液晶显示面板
200810083362 用于形成着色层的放射线敏感性组合物
200810083587 用于形成着色层的放射线敏感性组合物
200810084618 层压体、和使用它的接枝膜形成方法及接枝图案的形成方法
200810005535 激光加工装置
200810009480 确定前馈传递函数的方法、光刻设备和器件制造方法
200810036911 二维编码归一化对准标记组合及其对准方法和对准系统
200810080999 光刻设备和方法
200810083467 用于光刻设备的照射器和光刻方法
200810085375 液体处理装置
200810085350 热交换装置
200710306349 制造用于液晶显示器件的阵列基板的方法
200810095225 显示装置的栅极驱动电路以及制作显示装置的器件的方法
200680034482 包含二噻烷单体的可固化组合物
200680034173 着色组合物以及感光性转印材料
200680034542 用于检测主体运动的系统
200680034585 具有灰度的光掩模及其制造方法
200680034155 感光性树脂组合物及其固化物
200580051639 含有异氰脲酸化合物与苯甲酸化合物的反应生成物的形成防反射膜的组合物
200680034934 曝光装置
200680034408 用于处理隔离的衬底边缘区域的方法和设备
200580039285 用于控制电动机的方法、控制单元和电动机
200720193493 用以存放半导体元件或掩膜的存放装置
200720193594 半导体元件存放装置及光罩存放装置
200810036208 XYY精密定位平台的校准方法
200810023911 基于纳米压印技术的自支撑透射金属光栅及制备方法
200810091459 触控显示面板、彩色滤光基板及其制作方法
200810003469 包括具有凸凹表面的反射膜的LCD设备
200810095173 形成光阻图案的方法、制造显示面板和显示装置的方法
200710146403 光掩模基板和光掩模
200810023485 一种无掩膜光刻系统中曝光图形临近效应校正方法
200810083206 器件制造方法、计算机程序和光刻设备
200710040307 一种纳米晶体图形转印的方法及纳米晶体图形材料
200810093525 具有不同基板厚度差的显示面板制造方法
200810083302 光敏浆料组成物、障肋以及等离子体显示面板
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