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分类号为 G01P15/12* 的最新专利




2009年01月公开
200810128483 半导体器件及其制造方法

2008年12月公开
200710112684 惯性传感器及其制造方法
200810123700 兼有测量压强、温度变化功能的微型硅加速度计及其加工方法
200680027480 MEMS器件中的应力释放机构及其制造方法

2008年11月公开
200810096393 具有模制树脂壳体的电子设备及其制造方法和模制工具

2008年10月公开
200680028076 用于微机械测量加速度的方法和微机械加速度传感器

2008年09月公开
200810019772 多轴惯性传感器及测量多轴平动和转动加速度的方法
200810019773 一种基于MEMS技术的集成五轴运动传感器
200810037511 L形梁压阻式微加速度计及其制作方法
200810106361 一种电容式微加速度计
200810017885 一种石英加速度计的伺服电路
200680034552 基于介电泳的二维适应性加速度计

2008年07月公开
200710306261 加速度传感器
200710304799 一种双轴差动电容式微机械加速度计
200680024875 电子组件制造方法和电子组件
200720102808 三轴集成压阻式加速度传感器
200610201390 可拍照移动通讯终端

2008年06月公开
200680021814 制造电容式加速度传感器的方法和电容式加速度传感器
200680021779 微机械运动传感器的制造方法以及微机械运动传感器

2008年05月公开
200710179596 一种差动电容式微机械加速度计
200710156156 双向微惯性传感器及其制作方法

2008年03月公开
200710139662 差分电容式传感器检测电路
200580044862 振荡微机械角速度传感器

2008年02月公开
200610125640 车轮速度及加速度探测系统及探测方法
200710140744 多量程三轴加速度传感器装置
200710139293 压阻式高G值加速度计
200710139407 一种硅MEMS压阻式加速度传感器
200580044879 振荡微机械角速度传感器

2008年01月公开
200710029280 一种虚拟振动台检测信号处理方法及其设备
200580047589 用于高性能加速计的超因瓦合金磁回路
200710015883 加速度传感器

2007年12月公开
200710016081 液体型加速度传感器
200710043746 金属电容式微加速度计

2007年10月公开
200710101037.3 位移传感器及其制造方法
200580038065.4 加速度传感器装置
200620021637.X 力平衡振动传感器

2007年09月公开
200710061738.9 三轴压阻微加速度计
200710038123.4 对称直梁结构电容式微加速度传感器及其制作方法
200710061740.6 基于单质量块的单轴集成惯性测量器件
200710004284.1 压电电阻元件及其制造方法
200610064336.X 用于读取尤其是微机电型电容性传感器的装置和方法
200710061739.3 复合梁压阻加速度计
200710084384.X 角速度传感器及其操作方法

2007年08月公开
200580032266.3 电容性传感器和用于制造电容性传感器的方法
200580016391.5 用于地震仪或其它装置中的具有完整检测质块的改进微机械悬浮板

2007年07月公开
200610005179.5 加速度计
200610171900.8 使用差分电容型传感器的检测电路

2007年06月公开
200610163090.1 电容性物理量传感器及其诊断的方法

2007年05月公开
200610118484.5 微机械电容式加速度传感器及制作方法
200580016110.6 振动传感器

2007年04月公开
200610153725.X 半导体装置的制造方法

2007年03月公开
200610154224.3 位移检测器件
200520024986.2 微机械角加速度传感器

2007年02月公开
200610116291.6 双定子静电稳定电磁悬浮微转动陀螺
200610029423.1 基于(111)硅的微机械加速度传感器及制造方法
200610110069.5 耐冲击加速度传感器

2007年01月公开
200610029691.3 挠性立柱跷板式双层结构微加速度计

2006年12月公开
200610091569.9 微结构、悬臂、扫描探针显微镜以及用于测量微结构的形变量的方法

2006年11月公开
200510026033.4 超小型加速度计

2006年10月公开
200510043354.5 一种电容式MEMS加速度传感器
200610011906.9 一种扭摆式硅MEMS角加速度传感器
200610011958.6 一种双轴电容式微机械加速度计
200610011959.0 一种电容式微机械加速度计
200520004166.7 物理量传感器
200610067044.1 穿隧效应元件及物理量/电气量转换器

2006年09月公开
200580000775.8 半导体装置
200520082496.8 一种电容式MEMS加速度传感器
200610012638.2 水银电容式加速度传感器
200610025872.9 抗磁性悬浮永磁转子微加速度计
200610059745.0 梳齿电极对的制造方法

2006年08月公开
200510111362.9 三维集成微机械加速度传感器及制作方法
200510007630.2 一种基于纳米材料的微型膜片式加速度传感器
200510007632.1 一种微型膜片式加速度传感器的本体及制造方法
200610024506.1 电容式微流体角加速度计

2006年07月公开
200510107569.9 加速度传感器
200610009668.8 框架结构差分电容式加速度传感器
200520050992.5 一种交通安全警报器

2006年06月公开
200510107009.3 加速度传感器及其制造方法
200510107131.0 加速度传感器
200510128528.8 加速度传感器的结构及其制造方法

2006年05月公开
200520082664.3 电容式加速度传感器信号变换电路
200510127318.7 电容式同振矢量水听器及其工艺
200510131590.2 半导体加速度传感器
200510084468.4 加速度传感器
200510068900.0 加速度传感器

2006年03月公开
200510098192.5 加速度传感器
200510099199.9 加速度传感器
200510109685.4 具有传感芯片和电路芯片的电容式物理量传感器
200510012884.3 微机械角加速度传感器
200510012252.7 压阻式大过载加速度计及其制备方法

2006年01月公开
200510064610.9 惯性传感器
200510074178.1 电容性动态量传感器和半导体器件

2005年11月公开
200510055867.8 半导体微型器件
200510042775.6 高G值加速度计

2005年10月公开
200510074857.9 抗冲击石英挠性加速度计

2005年09月公开
200510041810.2 高过载三自由度加速度计
200510054744.2 传感器器件

2005年08月公开
200510042494.0 一种加速度传感器
200510007074.9 具有传感器芯片和电路芯片的物理量传感器
200510007071.5 传感器装置
200510009003.2 检测半导体动态量传感器的方法
200510056567.1 物理量传感器

2005年07月公开
200510050927.7 用于测量动力学参量的电容传感器