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分类号为 G01P15/097* 的最新专利
2008年12月 公开
200720144340 汽车垂直方向加速度传感器
200680046583 微加工声波加速度计
2008年11月 公开
200810055267 谐振式微加速度计
2008年10月 公开
200680034440 振动梁传感器中的或者涉及振动梁传感器的改进
2008年09月 公开
200810025574 硅微谐振式加速度计
2008年05月 公开
200710131415 基于球磨机旋转筒体振动信号的料位检测方法及其检测装置
2008年04月 公开
200710152449 振动传感器及其制造方法
2008年03月 公开
200710133223 双质量振动式硅微陀螺仪
200710133224 双线振动硅微陀螺仪
2007年12月 公开
200710062298 电调谐谐振式差频加速度计
200710118526.X 新型压电石英加速度计
2007年09月 公开
200620133975.2 一种改进的石英挠性加速度计
2007年06月 公开
200510125708.0 微机械硅谐振梁加速度计
2007年04月 公开
200610150675.X MEMS传感器的驱动装置及其驱动方法、使用MEMS的有源传感器
2006年11月 公开
200610093722.1 探针卡及微小结构体的检查装置
2006年10月 公开
200610011956.7 一种谐振式微机械加速度计
200610011957.1 一种双轴谐振式微机械加速度计