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分类号为 G01L21/12* 的最新专利
2008年09月 公开
200810101680 单晶硅横向微型MEMS皮拉尼计及其制备方法
2008年01月 公开
200710127811 电子部件封装结构
2007年07月 公开
200580028633.2 皮拉尼压力计
200580025130.X 电阻型热损失的压力感应器的操作方法
2007年05月 公开
200580019399.7 皮拉尼真空计
2007年03月 公开
200580006186.0 微制造的热丝真空传感器